產(chǎn)品分類
產(chǎn)品中心
10 Watt EUV光源
激光驅(qū)動白光光源
EQ-10采用了升級版的無電極Z-pinchT技術(shù)，具有緊凌易用，高可靠性以及低成本等特點非常適用于測量以及研究等應用領(lǐng)域。該款光源已經(jīng)在全球交付30多臺，均得到客戶的一致好評，現(xiàn)已經(jīng)成為EUV用戶的主要光源來源。
主要特征 
返回列表頁產(chǎn)品特點
-獨特的無電極Z-Pinch技術(shù)〔專利正在申請中)低電極碎巴/低成本
典型應用
–使用Xenon將10W轉(zhuǎn)換為2pi產(chǎn)品功率充足適用于各種應用
產(chǎn)品特征
-高達2 kHz的三復頻率可以一周七天，每天24小時連續(xù)工作
