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MEMS 振鏡

MEMS振鏡控制器

高性能、超緊湊型電磁驅(qū)動(dòng)激光掃描微振鏡(MEMS mirror) S12237-03P是一個(gè)融合了我司獨(dú)特的MEMS工藝的電磁驅(qū)動(dòng)振鏡。通過(guò)在振鏡下嵌入磁石來(lái)實(shí)現(xiàn)超小的尺寸。伴隨這磁石發(fā)出的磁場(chǎng),電流流動(dòng)成線圈狀環(huán)繞振鏡,基于弗萊明(Fleming)的左手定論,產(chǎn)生的洛倫茲力(Lorentzforce)將驅(qū)動(dòng)振鏡。濱松MEMS mirror可提供較寬的光偏轉(zhuǎn)角,且只需低功耗便可獲得較高的鏡面反射率。
主要特征 
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產(chǎn)品特點(diǎn)
·低電流操作
典型應(yīng)用
﹒極小尺寸
產(chǎn)品特征
﹒寬光偏轉(zhuǎn)角